报告人：须颖 博士 三英精控（天津）仪器设备有限公司

报告时间：2024年6月25日(周二)下午 14:30~15:30

报告地点：哈尔滨工业大学（深圳）信息楼L306

报告内容：

超精密运动控制技术是现代科学仪器与工业高端装备发展的核心技术之一。长期以来受科研及高科 技产业高速发展的推动，对超精密运动控制技术的需求增长迅速。尤其是近年来我国半导体技术及纳米 技术的兴起，给超精密运动控制技术的发展带来了新的挑战和机遇。同许多现代技术相似，超精密运动 控制技术是集控制技术、电子技术、数字技术、传感技术、驱动技术、测量技术及精密机械技术于一体 的一门综合性技术。随着人们对科研仪器与工业设备的精密度的要求不断提高，运动控制的精度正在被 不断推向新的极限。目前，在纳米甚至亚纳米等级上的运动控制已经成为可能。 

报告首先结合报告人自己多年从事超精密运动控制技术产品的开发和应用的经验，介绍目前纳米定位技术的发展现状和趋势，并讨论一些具体的设计概念。同时，具体介绍三英精控公司所开发的精密运动控制技术和产品，及其在半导体装备、激光技术和生物仪器领域的应用，与半导体前道的激光光刻、离子束加工、电子束加工，键合封装、晶圆检测等环节等的应用。本次报告将对实际案例进行说明。

报告人简介：

· 须颖博士毕业于：纳米技术与精密工程中心，英国华威大学 (The University of Warwick)

· 中国仪器仪表学会显微仪器分会副理事长

· 中国计量测试学会计量仪器专业委员会常务委员

· 三英精控（天津）仪器设备有限公司（纳米运动控制器技术） 董事长

· 天津三英精密仪器股份有限公司（微纳米CT检测技术） 董事长

· 美国Xradia公司（已被蔡司收购） 曾任工程部主任

· 美国nPoint公司 曾任技术总监· 美国KLA-Tencor 高级工程师· 天津大学、广东工业大学、中国石油大学 特聘教授

专长与经验概述：

· 精通纳米和亚纳米范围的精密测量技术和位移/定位控制技术，并具有利用这些技术解决超精密运 动控制和动态分析问题的丰富经验。

· 设计过的几十种纳米定位平台，被许多世界顶级的高精密设备厂商和研究机构所采用，如 Argonne National Lab, Livermore National Lab, IBM, Seagate, Intel, FEI, KLA-Tencor, Nikon, Canon, Hitachi, Samsung 等。

· 多年从事半导体检测设备及显微成像设备的研发和产业化经验。