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Extend your application coverage & accuracy with Advanced Optical profiling based on White Light Interferometry
发布时间:2019-03-06 14:41:33 3785

讲座时间:2019年3月8日 14:30

讲座地点:H714

(1)报告题目:Extend your application coverage & accuracy with Advanced Optical profiling based on White Light Interferometry

While White Light interferometry based optical profiling exist since 4 decades, it recently went through advanced refinement making it universal and easy to use. The talk will focus on presenting how this technique now allows measurement of steady and rough slopes while gaining 10x factor in vertical resolution and 2x factor in lateral dimension capabilities. Those new advantages will be ported to specific application fields such as precision engineering, MEMS and semi-conductor. We will notably describe examples where optical profiler based on WLI breaks diffraction limit resolves lateral details as low as 150nm as well as how sub-nanometer roughness is easily reached out.

 主讲人介绍: Dr Samuel Lesko

Samuel Lesko has over 18 years of optical profiler applications experience, particularly in using white light interferometry in a wide variety of fields, from MEMS and semiconductor to automotive and aerospace. His vast experience and passion in correlating roughness parameters with the performance of devices or parts has aided countless researchers and engineers in both academic and industrial settings. Samuel obtained his Physics Ph.D. and material science engineering degree at Burgundy University (France).

 

(2)报告题目:扫描探针显微镜多维表征和快速成像技术的最新发展

 在如今的高度跨学科研究项目中,对于不同材料在微纳尺度下的结构、力学、电学等性质进行表征,并与光学表征手段结合获取全方位的信息,是科研工作者们一直以来的追求。这促进了扫描探针显微镜技术沿着多物性表征方向的快速发展,使其能够同步获取微纳尺度下的多维度性质,甚至能够在原位过程中观察材料动态变化。这对于诸如能源材料,低维材料,生物医药等热门跨学科领域的研究工作都有着极其重要的意义。

布鲁克纳米表面部门的Dimension XR系列扫描探针显微镜集其几十年来的技术之大成,针对不同研究领域需要而开发的NanoElectrical, NanoElectrochemical, NanoMechanical全备表征技术,有效帮助科学家们探究微纳尺度下材料的多维特性。我们将结合具体案例来说明其在能源、催化、电化学、低维材料等领域的多种应用。纳米尺度下的直接成分分析的实现也一直是研究者们的目标。NanoIR纳米红外技术则在这方面突破了光学衍射极限的限制,纳米级别的化学表征分辨率为多个领域内的材料成分分析解决了难题。与此同时,布鲁克JPK Ultraspeed2原子力显微镜的快速扫描功能的显著提升,使得观察样品动态变化过程变得更加简易,发现前代技术下未能触及的现象。我们将分别探究这些最新技术在纳米材料、有机高分子、生物分子、细胞等研究领域的应用实例,及其带来的更多可能。

 主讲人介绍: 付坤武 博士

2016年毕业于新加坡南洋理工大学材料科学与工程学院,获得博士学位。博士期间在南洋理工大学能源研究所实验室从事有机-无机杂化钙钛矿材料在新能源领域应用的课题研究。博士期间曾赴瑞士EPFL Prof. Michael Graetzel课题组交流学习,并曾获得2015年国家优秀自费留学生奖。2016年加入新加坡维兰德金属有限公司担任质量与技术支持工程师。2018年在布鲁克中国区纳米表面部门担任应用科学家,负责售前应用和技术支持。

 

(3)报告题目:微纳尺度力学性能测量技术与应用

 现今奈米材料被广泛应用于半导体、光电、生医、土木工程、或核能等不同领域,然而量测材料在奈米尺度下的机械性质也因此成为了一个重要的课题。随着时间的发展,奈米机械性质的量测方法也不再局限于简单的压痕及刮痕,已经更广泛的在量测设备及方法上不断的更新及进步,以因应更多有挑战性的新材料,例如:配合环境控制腔体来研究材料在不同温度湿度下机械性质的变化,或是奈米压痕与SEM 及TEM结合,以观察研究材料在力学量测过程的即时变化,或是透过超快速压痕实验研究大面积材料力学性质的分布(Mechanical properties mapping),这些应用都提供学术研究、工业制程控管、及新材料研发的一个崭新舞台及更宏观的视野。

 主讲人介绍: Jimmy Duan

服务於测量仪器行业18年,担任产品销售应用及工业自动量测设备服务开发等工作,在以下领域均有丰富经验:光学超精密加工量测, 椭圆光谱仪薄膜检测技术及白光干涉仪等,现为布鲁克纳米压痕亚太产品经理,超过10年纳米压痕学术及工业界应用经验。